The abstract is devoted to the study of morphology, crystal structure and phase composition of thin-film Cu-Ni alloys. Films with thicknesses up to d = 10 nm and concentrations 0 < Cu < 100 at.% were obtained in a VUP-5M vacuum unit at a residual gas pressure of ~10-4 Pa and room temperature (300 K) of the substrate by the method of separate simultaneous evaporation of the components.
Суть розробки, основні результати:
Робота присвячена вивченню морфології, кристалічної структури та фазового складу тонкоплівкових сплавів Cu-Ni. Плівки товщиною до d = 10 нм і концентрацією 0 < Cu < 100 ат.% отримували у вакуумній установці ВУП-5М за тиску залишкового газу ~10-4 Па і кімнатної температури (300 К) підкладки методом метод роздільного одночасного випаровування компонентів.