High-vacuum pump of orbitron type : Electrophysical principles of work and design features

Abstract

The article presents the results of studies of the operation of an orbitron getter-ion vacuum pump (OGIP) with nitrogen cryopanel. The article also describes the design features of the OGIP and its modes of operation. With the help of the MX7304A mass spectrometer, the composition of the residual atmosphere of the vacuum chamber was studied when it was pumped out to an ultrahigh vacuum, depending on the operating modes of OGIP. The conclusion is drawn that the designed OGIP with nitrogen cryopanel is an effective pumping out tool for creating an ultrahigh oil-free vacuum in metal vacuum units that are fully heated. У статті представлені результати досліджень роботи орбітронного гетерно-іонного вакуумного насоса (ОГІН) з азотною кріопанеллю. Також описані конструктивні особливості ОГІН та режими його роботи. За допомогою мас-спектрометра МХ7304А вивчений склад залишкової атмосфери вакуумної камери при її відкачуванні до надвисокого вакууму у залежності від режимів роботи ОГІН. Зроблено висновок, що зконструйований ОГІН з азотною кріопанеллю є ефективним відкачуючим засобом для створення надвисокого безмасляного вакууму в металевих вакуумних установках, які повністю прогріваються.