Исследование работы геттерно-ионного сверхвысоковакуумного насоса орбитронного типа

Abstract

Представлены результаты исследования работы вакуумного орбитронного геттерно-ионного насоса (ОГИН) с азотной криопанелью, описаны его конструктивные особенности и режимы работы. С помощью масс-спектрометра МХ7304А изучен состав остаточной атмосферы металлической прогреваемой вакуумной камеры при ее откачивании с помощью ОГИН до сверхвысокого вакуума в зависимости от режимов его работы. Показано, что особенностью масс-спектров остаточной атмосферы является полное отсутствие в них пиков тяжелых углеводородов. Основной составляющей остаточной атмосферы (определяющей предельное разрежение насоса) при водяном охлаждении ОГИН является метан СН4. При использовании азотной криопанели при давлении в камере Р = 2∙10-8 Па основной составляющей остаточной атмосферы является водяной пар Н2О, и поэтому при тщательном обезгаживании вакуумной камеры использование орбитронного насоса с азотной криопанелью позволяет получать сверхвысокий безмасляный вакуум лучше 10-8 Па. Представлені результати дослідження роботи вакуумного орбітронного гетерно-іонного насоса (ОГІН) з азотною кріопанелью, описані його конструктивні особливості і режими роботи. За допомогою мас-спектрометра МХ7304А вивчений склад залишкової атмосфери металевої прогріваної вакуумної камери при її відкачуванні за допомогою ОГІН до надвисокого вакууму залежно від режимів його роботи. Показано, що особливістю мас-спектрів залишкової атмосфери є повна відсутність у них піків важких вуглеводнів. Основною складовою залишкової атмосфери (що визначає граничне розрідження насоса) при водяному охолодженні ОГІН є метан СН4. При використанні азотної кріопанелі при тиску в камері Р = 2∙10-8 Па основною складовою залишкової атмосфери є водяна пара Н2О, тому при ретельному знегажування вакуумної камери використання орбітронного насоса з азотною кріопанеллю дозволяє отримувати надвисокий безмасляний вакуум краще 10-8 Па.