Abstract:
Розглянуто іонно-оптичні властивості і характеристики іонного мікрозондового аналізатора, в якому сепарацію первинного іонного пучка за масами виконує секторна магнітна призма, а в системі аналізу вторинних іонів у якості енергоаналізатора застосовано сферичний конденсатор, що формує паралельний іонний пучок на вході в мас-аналізатор. Це дозволило покращити параметри приладу і зменшити його габарити. Рассмотрены ионно-оптические свойства и характеристики ионного микрозондового анализатора, в котором сепарацию первичного пучка по массам осуществляет секторная магнитная призма, а в системе анализа вторичных ионов в качестве энергоанализатора использован сферический конденсатор, формирующий параллельный ионный пучок на входе в масс-анализатор. Это позволило улучшить параметры прибора и уменьшить его габариты.
Description:
It has been considered the ion-optical properties and characteristics of ion microprobe analyzer in which the primary ion beam mass separation is realized by the magnetic prism, and the beam spherical capacitor is used in the secondary ion analyzing system as energy analyzer which form parallel ion beam at the mass analyzer inlet. It has allowed to improve the instrument parameters and to scale down its overall dimension.
