Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора

Кузема, О. С.; Кузема, П. О.; Кузема, А. С.; Кузема, П. А.; Kuzema, O. S.; Kuzema, P. O.

dc.contributor.author	Кузема, О. С.
dc.contributor.author	Кузема, П. О.
dc.contributor.author	Кузема, А. С.
dc.contributor.author	Кузема, П. А.
dc.contributor.author	Kuzema, O. S.
dc.contributor.author	Kuzema, P. O.
dc.date.accessioned	2014-09-30T07:49:58Z
dc.date.available	2014-09-30T07:49:58Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Кузема О. С. Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора [Електронний ресурс] / О. С. Кузема, П. О. Кузема // Журнал нано- та електронної фізики. - Суми : Сумський державний університет, 2013. - Т. 5. - № 3.	uk_UK
dc.identifier.uri	http://repo.sau.sumy.ua/handle/123456789/1785
dc.description	It has been considered the ion-optical properties and characteristics of ion microprobe analyzer in which the primary ion beam mass separation is realized by the magnetic prism, and the beam spherical capacitor is used in the secondary ion analyzing system as energy analyzer which form parallel ion beam at the mass analyzer inlet. It has allowed to improve the instrument parameters and to scale down its overall dimension.	uk_UK
dc.description.abstract	Розглянуто іонно-оптичні властивості і характеристики іонного мікрозондового аналізатора, в якому сепарацію первинного іонного пучка за масами виконує секторна магнітна призма, а в системі аналізу вторинних іонів у якості енергоаналізатора застосовано сферичний конденсатор, що формує паралельний іонний пучок на вході в мас-аналізатор. Це дозволило покращити параметри приладу і зменшити його габарити. Рассмотрены ионно-оптические свойства и характеристики ионного микрозондового анализатора, в котором сепарацию первичного пучка по массам осуществляет секторная магнитная призма, а в системе анализа вторичных ионов в качестве энергоанализатора использован сферический конденсатор, формирующий параллельный ионный пучок на входе в масс-анализатор. Это позволило улучшить параметры прибора и уменьшить его габариты.	uk_UK
dc.language.iso	other	uk_UK
dc.publisher	Сумський державний університет	uk_UK
dc.subject	магнітна призма	uk_UK
dc.subject	фокусування іонів	uk_UK
dc.subject	електростатична лінза	uk_UK
dc.subject	магнитная призма	uk_UK
dc.subject	фокусировка ионов	uk_UK
dc.subject	электростатическая линза	uk_UK
dc.subject	мagnetic prism	uk_UK
dc.subject	іon focusing	uk_UK
dc.subject	еlectrostatic lens	uk_UK
dc.title	Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора	uk_UK
dc.title.alternative	О некоторых усовершенствованиях ионного микрозондового анализатора	uk_UK
dc.title.alternative	On Some Improvements of Ion Microprobe Mass Analyzer	uk_UK
dc.type	Other	uk_UK